製程設備用風扇過濾組(FFU)

風扇過濾組 EC 標準型

風扇過濾組 EC 標準型

產品說明

  • 清淨度 Class1~100,000 皆可設定,且可分區各別設定
  • 因為天花板後方為負壓,可減低洩漏的可能性
  • 變換 FFU 的安裝,可以作成隔間或穿牆方式的無塵室
  • 吹出風量,亦可分區個別設定
  • 改變 FFU 的配置方式,可彈性擴建或改造無塵室
  • 採用DC 無刷變頻馬達降低運轉費用和節能
  • 可依客戶需求客製
風扇過濾組 EC薄型

風扇過濾組 EC薄型

產品說明

  • 清淨度 Class1~100,000 皆可設定,且可分區各別設定
  • 因為天花板後方為負壓,可減低洩漏的可能性
  • 變換 FFU 的安裝,可以作成隔間或穿牆方式的無塵室
  • 吹出風量,亦可分區個別設定
  • 改變 FFU 的配置方式,可彈性擴建或改造無塵室
  • 採用DC 無刷變頻馬達降低運轉費用和節能
  • 可依客戶需求客製
風扇過濾組 EC Mini型

風扇過濾組 EC Mini型

產品說明

  • 清淨度 Class1~100,000 皆可設定,且可分區各別設定
  • 因為天花板後方為負壓,可減低洩漏的可能性
  • 變換 FFU 的安裝,可以作成隔間或穿牆方式的無塵室
  • 吹出風量,亦可分區個別設定
  • 改變 FFU 的配置方式,可彈性擴建或改造無塵室
  • 採用DC 無刷變頻馬達降低運轉費用和節能
  • 可依客戶需求客製
風扇過濾組 EC大風量

風扇過濾組 EC大風量

產品說明

  • 清淨度 Class1~100,000 皆可設定,且可分區各別設定
  • 因為天花板後方為負壓,可減低洩漏的可能性
  • 變換 FFU 的安裝,可以作成隔間或穿牆方式的無塵室
  • 吹出風量,亦可分區個別設定
  • 改變 FFU 的配置方式,可彈性擴建或改造無塵室
  • 採用DC 無刷變頻馬達降低運轉費用和節能
  • 可依客戶需求客製