無塵室濾網的種類:初效過濾器、中效過濾器、HEPA 與 ULPA 過濾器

 

在現代高科技產業中,無塵室對於確保產品品質與維持穩定的生產環境具有關鍵性作用。而為了達到所需的潔淨等級,選用合適的空氣過濾器更是不可或缺的一環。本文將介紹四種專為無塵室設計的空氣過濾器,並提供其相關技術參數與應用說明,作為選型與評估的參考依據。

 

 

什麼是無塵室專用空氣濾網?

無塵室是一種受控環境,主要目的在最大限度地減少空氣中微粒、微生物及其他污染物的干擾。為達到並維持所需的潔淨等級,高效能的空氣過濾器在去除空氣雜質方面扮演著關鍵角色。

無塵室過濾器專為防止微粒、細菌與病毒進入受控空間而設計。選擇正確的過濾器至關重要,特別是在半導體、製藥與醫療等對空氣純度高度敏感的產業中,潔淨空氣的維持直接影響產品品質與生產穩定性。

無塵室過濾器的類型

 

無塵室空氣過濾器的主要類型包括:初效過濾器、中效過濾器、HEPA 過濾器與 ULPA 過濾器。以下是各類過濾器的詳細介紹:

 

  • 初效濾網(Pre-Filters)


    Pre-filter

    初效過濾器是無塵室空氣過濾系統的第一道防線,其主要功能是捕捉較大的空氣懸浮微粒(3–10 微米),例如花粉、灰塵、皮屑與黴菌孢子。透過在過濾流程初期去除這些較大的污染物,初效過濾器有助於延長 HEPA 與 ULPA 過濾器的使用壽命,同時維持整體系統的運行效率。

    由於初效過濾器直接暴露於較高濃度的污染物,其更換頻率會依環境條件而異。在多數無塵室應用中,建議每 2 至 6 個月更換一次初效過濾器,以確保最佳效能。



    ACDT的初效過濾器 專為耐用性與高效能而設計,其防潮紙板框架可防止變形,V 型折疊濾材則最大化過濾面積,提升整體過濾效能。此外,濾材邊緣密封嚴密,有效防止氣體洩漏,確保更潔淨的空氣輸出並延長使用壽命。


  • 中效率濾網(Medium Efficiency Filters)


    Medium Efficiency Filters

    中效率過濾器專為捕捉粒徑在 1 至 3 微米之間的空氣微粒而設計,根據不同的過濾等級,其過濾效率可達 60% 至 95%。這類過濾器通常作為初效過濾器與高效過濾器之間的中間層,有效攔截中等大小的顆粒,提升整體過濾系統的效能與壽命

    透過在污染物進入 HEPA 或 ULPA 過濾器之前先行過濾,中效過濾器在延長高階過濾系統壽命方面扮演了關鍵角色,同時也有助於維持穩定的氣流效率。

    ACDT的中效率過濾器 提供高效能的空氣過濾解決方案,採用簡約的框架結構設計,卻具備大面積的過濾介面。其本體採用經特殊強化處理的鍍鋅鋼材製成,展現優異的耐用性與抗變形性能,確保長時間穩定運作無虞。過濾效率涵蓋 60–65%、80–85% 及 90–95% 三種等級,靈活對應不同潔淨需求。此款合成纖維袋式過濾器符合 ASHRAE 標準,兼具卓越的氣流表現與穩定可靠性。


  • HEPA 濾網(High-Efficiency Particulate Air Filters)


    HEPA Filters

    HEPA 過濾器專為高精度空氣過濾設計,能有效攔截粒徑小至 0.3 微米、效率達 99.97% 的微粒,符合美國能源部(DOE)及歐洲 EN 1822 等嚴格標準,是高潔淨需求環境中不可或缺的關鍵設備。

    由於具備優異的過濾效率,HEPA 過濾器廣泛應用於半導體製造、製藥廠與醫療機構等對微粒污染極為敏感的場所,以維護產品品質與病患安全。為確保其長期穩定運作,建議依據實際使用環境與保養計劃,每 1 至 2 年定期更換。


    ACDT的 HEPA 濾網 提供卓越的空氣淨化能力,過濾效率達 99.99% 至 99.995%,針對 0.3 微米的微粒進行高效過濾。此類過濾器採用迷你折疊結構設計,最大化濾材表面積,同時降低氣流阻力,確保穩定且高效的運作表現。其製造標準符合 EN1822 H13/H14 等級,非常適用於無塵室、半導體製造、製藥廠及生技實驗室等高潔淨需求的場所。



  • ULPA 濾網 (Ultra-Low Penetration Air Filters)


    ULPA Filter

    ULPA 過濾器具備比 HEPA 更高等級的空氣過濾效能,能有效攔截粒徑小至 0.1 至 0.12 微米的微粒,過濾效率高達 99.9995% 至 99.99995%。如此卓越的性能,使 ULPA 過濾器成為極度潔淨環境中不可或缺的關鍵設備,因為即使極微量的污染物也可能對高精密製程或敏感環境造成嚴重影響。

    此類過濾器廣泛應用於對空氣品質要求極高的領域,例如微電子製造、奈米技術實驗室及先進醫療無菌空間。ULPA 過濾器能有效阻絕超微粒污染源,確保高度穩定且無污染的作業環境,進而保障產品品質與操作安全。



    ACDT的 ULPA 過濾器 專為超高效率設計,能捕捉粒徑小至 0.12 微米、達 99.9995% 至 99.99995% 的微粒。採用先進的迷你折疊(mini-pleat)技術,不僅大幅提升過濾面積,還能維持低壓降,確保穩定的氣流與能源效率。

 

 

濾網效率標準對照表

 

  • EN 779:2012 等級分類表


    根據 EN 779:2012標準,以下是空氣濾網的分類標準:


    等級最終壓降 (Pa)合成塵埃的平均計重效率 (Am) (%)0.4µm 顆粒的平均效率 (Em) (%)
    G125050 ≤ Am < 65
    G225065 ≤ Am < 80
    G325080 ≤ Am < 90
    G425090 ≤ Am
    M545040 ≤ Em < 60
    M645060 ≤ Em < 80
    F745080 ≤ Em < 90
    F845090 ≤ Em < 95
    F945095 ≤ Em

    備註:
    • G1 ~ G4 等級的分類依據合成塵埃的平均計重效率 (Am)。
    • M5 ~ F9 等級的分類依據4µm 顆粒的平均效率 (Em)。
    • 標準測試條件下,粗效濾網 (G1-G4) 的最大最終壓降為 250 Pa,高效濾網 (M5-F9) 的最大最終壓降為 450 Pa


  • 綜合ISO 29463-1:2024 and EN 1822-1:2019 濾網分類表


    ISO 29463-1:2024EN 1822-1:2019等級
    Filter classGROUP整體局部 a,b
    效率 (%)穿透率 (%)效率 (%)穿透率 (%)
    ISO 05 EE≥ 85≤ 15E10
    ISO 10 E≥ 90< 10
    ISO 15 E≥ 95≤ 5E11
    ISO 20 E≥ 99≤ 1
    ISO 25 E≥ 99.5≤ 0.5E12
    ISO 30 E≥ 99.90≤ 0.1
    ISO 35 HH≥ 99.95≤ 0.05≥ 99.75≤ 0.25H13
    ISO 40 H≥ 99.99≤ 0.01≥ 99.95≤ 0.05
    ISO 45 H≥ 99.995≤ 0.005≥ 99.975≤ 0.025H14
    ISO 50 UU≥ 99.999≤ 0.001≥ 99.995≤ 0.005
    ISO 55 U≥ 99.9995≤ 0.0005≥ 99.9975≤ 0.0025U15
    ISO 60 U≥ 99.9999≤ 0.0001≥ 99.9995≤ 0.0005
    ISO 65 U≥ 99.99995≤ 0.00005≥ 99.99975≤ 0.00025U16
    ISO 70 U≥ 99.99999≤ 0.00001≥ 99.9999≤ 0.0001
    ISO 75 U≥ 99.999995≤ 0.000005≥ 99.9999≤ 0.0001U17

    註釋:
    • 根據EN 1822-1:2019, E級濾網無法進行洩漏測試作為分類依據。
    • 根據ISO 29463-1:2024 H 級濾網的局部滲透率數值僅供 MPPS 顆粒掃描測試方法 參考,若採用 光度計或油線洩漏測試,可訂定不同標準。

 數據來源:

    • INTERNATIONAL STANDARD ISO-29463-1-2024
    • INTERNATIONAL STANDARD EN 1822-1:2019

 

 

結論

 

選擇適當的空氣過濾器對維持無塵室的潔淨度與穩定運作至關重要。建議依據實際應用需求,結合國際標準進行濾網選型,以確保生產環境達到最佳空氣品質,進而提升產品良率與整體製程效能。

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 2025-05-17